Nano Solus의 Motion System 기술 개요입니다.

구동 동작의 요구 사양 검토 및 분석.

요구되는 위치 정확성, 반복성, 분해능 분석.

물리적 환경 (소음, 진동, 온도 및 습도 변화)에 따른 안정된 시스템 설계.

제품의 사양에 준하는 최적의 구성 요소 기술을 적용한 시스템 설계.

Accuracy : 목표 위치와 실제 위치의 위치정확도 차이

Bi-Directional Repeatability : 양쪽 방향 구동 중 실제 위치에서의 반복적인 차이

Uni-Directional Repeatability : 동일 방향 구동 중 실제 위치에서의 반복적인 차이

Straightness (㎛) : 구동 축의 진행 방향에 대한 좌/우의 변화 값.

Flatness (㎛) : 구동 축의 진행 방향에 대한 상/하의 변화 값.

Yaw (arc-sec) : 구동 축의 진행 방향에 대한 좌/우의 각도 변화 값.

Pitch (arc-sec) : 구동 축의 진행 방향에 대한 상/하의 각도 변화 값.

Roll (arc-sec) : 구동 축의 진행 방향과 평행한 축을 중심으로 하는 좌/우의 각도 변화 값.

Profile : 구동을 위한 속도, 가속도 등 관련 정보.

In Position Stability : 정지 상태에서의 떨림 정도.

Velocity Ripple (%) : 구동 중 속도의 변화 차이 값을 백분율로 표현.

Setting Time (sec) : 일정 거리 이동 완료 후 지정된 범위 내에서 안정화 하는데 걸리는 시간.